METAPOR透气金属

来自瑞士的Portec公司。它是METAPOR®和ESPOR®微孔透气材料的发明者和生产商。自1991年以来,他们一直以瑞士质量、创新解决方案和可靠的高科技产品而著称。其制品在热成型、激光焊接,电路板,高端传送、陶瓷等行业得到广泛应用,西美德为在东亚市场推出METAPOR产品感到自豪。如果您有任何疑问,请与我们联系 sales@cmteastasia.com 或者给办公室打电话。

真空夹持

METAPOR®:用于真空夹持应用的多孔材料

METAPOR ®因其易于加工的特性而提供了新的可能性。

即使夹持表面“仅”部分覆盖,材料内部的持续减压也能产生强大的保持力。

使用由 METAPOR ®制成的夹持元件,工件可以精确、均匀地固定而不会变形。

METAPOR ®能够满足您对表面光滑度和平整度的高要求,而不会出现任何问题。

由于没有任何凹槽和钻孔,即使是敏感零件也不会出现任何变形。
使用压缩空气可以消除静电粘附,从而形成平滑均匀的气垫。


优势

  • 整个表面均匀的真空和均匀的气流。

  • 微孔表面无变形固定(高平整度和平行度)

  • 非常薄且敏感的薄膜和零件将被夹紧而不会损坏(使用钻孔铝板时可能会发生这种情况)

  • 不应具有透气性的区域可以很容易地覆盖。

  • 制造成本经济;不需要任何钻孔。

 

用于真空夹紧应用的 METAPOR® 产品

METAPOR ® BF100 AL适用于真空夹紧装置,用于固定敏感材料,如非常薄的薄膜(约 0.01 毫米)或雕刻平面物体。它允许稳定的夹紧力,即使表面部分覆盖。

METAPOR ® CE 100 White是一种具有白色表面的极细多孔材料。由于其强大的表面硬度和精密铣削能力,它已被证明在硅片生产中非常有用。真空吸盘表面的平整度小于 5 微米。洁净室周围批准。即使表面被部分覆盖,它也能实现稳定的夹紧力。

由METAPOR ® MC 100 AL制成的真空夹紧装置用于复杂的 3D 形状和完整的表面覆盖,在不变形的情况下夹紧零件和薄膜。

METAPOR ® MA100 BLACK是一种独特的微孔产品,适用于需要完整黑暗表面且不允许反射的应用场合。这种多孔材料即使在研磨后也会保持黑色。它可以用作3D和光学测量设备的真空吸盘,或用于透明RFID箔的质量检查。与我们的其他产品一样,可以精确夹紧平面度要求非常高且不变形的工件。它允许稳定的夹紧力,即使表面部分覆盖。


应用

  • 平面夹紧:工作台、固定箔、印刷台、测量台、雕刻台、压缩模具内的夹紧嵌件。

  • 型材夹紧:用于复杂工具的真空支撑模板夹具,热成型零件的修整。超声波切割软皮,例如汽车行业仪表板用软皮

METAPOR® BF 100 AL 用于检查卡的夹紧装置

METAPOR® 3D 真空夹具


半导体工业

半导体行业用多孔材料(METAPOR®非金属类型)制成的夹紧装置具有易于加工、表面光滑(摩擦小)、空气分布均匀和价格合理的优点。

这种材料是理想的,因为它或多或少具有自洁性,因此非常耐用。在使用清洁的压缩空气时,这种多孔材料甚至适用于洁净室条件。

METAPOR® CE 100 WHITE 卡盘广泛用于微电子行业的晶圆加工、IC 组装、芯片和引线键合。

由 METAPOR® CE 100 WHITE 平板制成的微孔陶瓷工作盘是一种特殊工具,用于在各种半导体晶圆生产过程中夹紧和承载,并应用于减薄、切割、研磨、清洁和搬运等过程。

METAPOR® CE 100 WHITE 可用于各种半导体机械制造商的新型和翻新多孔陶瓷卡盘。

METAPOR® MA 100 BLACK 真空吸盘

可加热 METAPOR® 半导体卡盘

METAPOR® CE 100 WHITE 8”卡盘,用于晶圆板


能源METAPOR® CE 100 WHITE卡盘

METAPOR® CE 100 WHITE 8”卡盘,用于晶圆板

质量控制

质量保证行业的夹紧装置由METAPOR®制成,可确保对测试零件进行非常精确的夹紧。可以使用我们的材料进行光学质量检查和测量检查。我们的部件与各种测量机兼容。

工厂制造商在其工艺链中使用METAPOR®夹紧和运输其部件,确保其可靠性和可重复性。

METAPOR® CE 100 WHITE卡盘

WITTE制造的透光版


METAPOR® CE 170 WHITE卡盘,带集成温度传感器,用于测量设备

METAPOR® MA100 BLACK 结构为微孔和完全黑色,没有反射,这在光学测量行业中很常见。


推荐用于真空夹紧的 METAPOR® 产品

产品应用特点密度 (g/cm3)抗弯强度 (N/mm2)空气流量 *
高炉 100 铝平面夹紧
非常敏感的部件和薄膜 可以
部分覆盖夹紧表面
1.8521.4
CE 100 白色平面夹持
高表面抗性
非常敏感的部件和薄膜 – 半导体行业
夹持表面的部分覆盖可能
1.7281.4
MC 100 铝平面和型材夹紧 需要
完全覆盖夹紧表面
最大气流
1.74011.5
MA 100 黑色平面和轮廓夹紧 可
部分覆盖夹紧表面
完全黑色多孔材料
3.3321.5

* 1 bar/10mm METAPOR 板压差下的空气流速(每厘米2每分钟升)

  

METAPOR® 真空夹紧装置的原理

在粘合 METAPOR® 板之前,去除支撑元件表面的油脂,并用ARALDIT 2014粘合剂等涂抹。然后,用ARALDIT 2014或硅胶填充METAPOR®板的板接缝,约2 mm。

METAPOR®-板坯: 10 - 15 毫米厚度,在第一面铣削。
底板/支撑架:铝板,铣削支撑元件
支撑元件尺寸:大约 20 毫米 x 10 毫米 x 5 毫米(长 x 宽 x 高)
支撑元件的距离:大约 40 毫米(中心 – 中心)


带空气分配通道的基板

METAPOR® - 插入零件

用ARALDIT 2014等粘合剂填充间隙,顶面研磨